现代汉语中“自”和“己”都不是词，只是构词语素，但在古代汉语中是两个词。而“自己”又是由“自”和“己”合并而来，所以有必要先了解古代汉语中“自”和“己”的用法。
一、自：
1.代词。回指句中（或语境中）已出现的人，强调不是其他人。
①作主语的同位语。如：雍子自知其罪。项王自立为西楚霸王。
有时出现隔状语复指，如：于是焉河伯欣然自喜，……。
进而丢弃复指的主语而单独作主语。如：天作孽，犹可违；自作孽，不可活。又如现代汉语中的词：自诉。自费。
②作宾语（必须在动词或介词前）。如：彼必释赵而自救。 我是纵欲而不能自克也。自以为是（成语）。又如现代汉语中的词：自杀。自信。
2.副词。由1引申为本人亲自（做某事），强调不是由其他人（做）。如：公不自送。我将自往请之。
3.副词。引申为（某人）自然（做某事），强调不是受外力驱使而自发地。如：我无为而民自化，我好静而民自正。又如现代汉语中的词：自动。自燃。
二、己：
1.代词。同“自1”。不同的是作宾语一般出现在动词或介词后，还可以作定语，但不能作同位语、主语。如：君子博学而日参省乎己。尧不得舜为己忧。二三子以为己力。
2.代词。泛指句中未出现的任意一个人（句中无可回指的先行词），强调本人而非其他人，一般和“人”（指其他人）对称，用于表达某个普遍性的事实或信念的场合（这是“自”没有的用法）。如：己所不欲，勿施于人。夫以人循己，则己贵而人贱。
“自己”是“自”和“己”合并而成，所以兼具了二者的用法。
自己：
1.代词。同自1。如：他自己知道。让小王自己来搬。我看了半天，自己都没懂。别害了你自己。他只好安慰自己。他老跟自己过不去。（作宾语时都在动词或介词后）
2.副词。同自2。如：我想自己开车。
3.副词。同自3。如：泉水（突然）自己喷了出来。也可指人不受外力驱使而主动、自愿地做。如：谁也没问他，他自己讲了起来。
4.代词。同己1。你看好自己（的）孩子。
1和4可以合并为：回指句中已出现的人，可作主语、宾语、定语、同位语。
5.代词。同己2。如：自己动手，丰衣足食。越是有成绩越要严格要求自己。我主张自己的事情自己做，自己挣的钱自己花。