一般情况下，经过热处理后，要求精度高的量具需要进行几十小时到几百小时的冷硬化处理。冷硬化处理是热处理后的补充，可以使金属材料的硬度和耐磨性得到极大的改进，提高量具的精度和耐磨性能。冷硬化处理分为四步：冷却，负荷，回火以及冷却。回火有两种类型：深冷回火和低温回火，其中深冷回火的处理时间较长，硬度较高，经常采用深冷回火来处理精密量具。