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怎么提高真空抽速


IP属地:北京1楼2022-07-19 11:23回复
    加大泵的抽速和提高管道、腔体的内壁光洁度


    IP属地:四川4楼2022-08-12 09:25
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      增大泵组的抽速(性能指标),增加抽气管道的通导(管道的直径,弯度),减小与真空环境接触的材料的放气率(抛光处理,烘烤),真空获得腔体设计的极限指标尽可能比泵组的极限真空度低。


      IP属地:浙江5楼2023-03-12 22:41
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