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6英寸划片机 陆芯3252半自动单轴晶圆切割机

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公司创办至今,一直将自主创新放在重要位置,并高度重视研发工作。2018年,国内外主流6英寸划片机一直采用同步带、涡轮蜗杆等机械辅助传动转台方案。经过数月的调查和不断的试验,通过大量的数据积累和不断的设计改进,陆芯团队成功地攻克了直驱电机转角结构方案,使转角定位精度及稳定性大幅度提高,一举达到国际先进水平。在以公司精密划片机型号LX-6366为代表(兼容6〜12寸晶圆,双头切割,自动修复法兰,CCD双镜头,重复精度1μm),不仅代表了公司最先进的技术,也代表了国内外精密划片产品的领先技术,这标志着陆芯精密划片机从技术上已经抢占了行业制高点。

6英寸主战场、碳化硅——功率半导体的未来
碳化硅(SIC)材料是半导体行业的主要发展方向。当用于制造电力设备时,它可以显著提高电能的利用率。以碳化硅为代表的第三代半导体功率芯片和器件以其高压、高频、高温、高速的优异特性,可以大大提高各种电力电子设备的能量密度,降低成本,增强可靠性和适用性,提高功率转换效率,降低损耗。

光伏、风电等新能源发电、直流特高压输电、新能源汽车、轨道交通、工业电源、民用电器等领域对高效功率转换有着巨大的需求,而新型功率半导体也适应了这一需求趋势。未来十年是第三代功率半导体的创新加速期,渗透率将全面提升。
目前,市场上碳化硅晶片的尺寸仍集中在4英寸和6英寸。虽然已经开发出8英寸碳化硅单晶样品,但离大规模生产还有一段时间。受技术条件等因素影响,碳化硅芯片的价格也很高,不能在短时间内完全替代硅基产品。因此,对于碳化硅(晶片和外延晶片)的切割,小型切割机具有独特的优势。陆芯顺应市场需求,改进了自己的机型,现推出LX3252半自动单轴晶圆切割机。

6英寸精密划片机主流配置
1.5KW大功率主轴;
高刚性机械结构;
旋转轴采用DD马达;
进口超高精密导轨;
进口超高精密研磨级滚珠型丝杆;
全行程定位精度4μm;
自动对焦功能,CSP切割功能,在线刀痕检测功能;
自动修磨法兰功能;
此次陆芯推出的6寸专用精密划片机,在软件方面继承和优化了公司最新的软件技术,如:工件形状的识别和功能,更友好人机界面。由于机械结构和电子结构相对最先进的XL-6366要简单。所以,在设备后期的维护成本上会更低,这对于只需要用到6寸划片机的厂商来讲无疑是个巨大的福音,并且陆芯在设备的交货周期上,也比最先进的设备交期提前不少。


IP属地:广东1楼2022-06-28 14:07回复