臭氧氧化法主要用于水的消毒、去除水中酚、氰等污染物质，水的脱色、除去水中铁、锰等金属离子，除异味和臭味。
用臭氧作氧化剂对废水进行净化和消毒处理的方法。臭氧具有很强的氧化能力，因此在环境保护和化工等方面被广泛应用。用臭氧氧化处理废水所使用的是含低浓度臭氧的空气或氧气。
臭氧氧化处理废水主要的工艺设施由臭氧发生器和气水接触设备组成。